.Tel/lam 氮化硅刻蚀机培训教案 一 简介：Tel/lam 氮化硅刻蚀机是一种平板式的干法刻蚀设备，用于氮化硅的干法刻蚀，其工作原理为特种气体SF6,CHF3在RF下电离并与氮化硅发生反应。二 结构组成它由以下几部分组成：主机部分、电源部分、泵组部分、射频部分和气体供给部分部分。 1主机部分：它是氮化硅刻蚀机的主体部分，包括显示器、传递腔、反应腔、传动系统及设备的主要控制系统。 2电源部分：系统供电208V进入，经变压器，继电器等变为所需的电压输出。该设备泵组电源由电源柜控制。3射频部分：在气体反应时提供13.56MHZ的高频电源，以便气体在高真空环境下电离，产生等离子体。射频匹配系统位于主机上部，用于对射频源所提供的高频通过可变的电感电容进行匹配，以便提供给设备稳定高效的射频。射频电源为208VAC供电，外接冷却水为本体发热元件降温。4泵组部分：由机械泵、增压泵和真空管线构成抽反应腔的真空系统，以达到工艺反应时所需的真空度要求。由18泵及配套的真空管线用于抽传递腔的真空。现在我们使用的泵组位于一楼回风区内。5 气体供给部
