ICP-MS工作原理.doc

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.ICP-MS 的工作原理及分析特性ICP-MS 是以电感耦合等离子体为离子源,以质谱仪为检测器的无机元素分析技术。该仪器主要由样品引入系统、离子源、接口部分、离子聚焦系统、质量分析器和检测系统六部分组成。此外,典型的ICP-MS 仪器还配置真空系统、供电系统以及用于仪器控制和数据处理的计算机系统。ICP-MS 分析过程中,被分析样品以水溶液的气溶胶形式被引入氩气流中,然后进入由射频能量激发的处于大气压下的氩等离子体中心区,等离子体的高温使得样品去溶剂化、汽化、解离和电离。部分等离子体经过不同的压力区进入真空系统。真空系统内,MS 部分(四极快速扫描质谱仪)通过高速顺序扫描分离测定所有离子,扫描元素质量数范围从6 到260,并通过高速双通道分离后的离子进行检测,浓度线性动态范围达9 个数量级(从ppt 到1000ppm)。因此,与传统无机分析技术相比,ICP-MS 技术提供了最低的检出限、最宽的动态线性范围、干扰最少、分析精密度高、分析速度快、可进行多元素同时测定,其分析特性为:1. 通过谱线的核质比进行定性分析;2. 通过谱线全扫描测定几乎所有元素的大致浓度范围,

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