KEITHLEY四探针操作手册.doc

.南开大学 硅光电子学与储能实验室Four-Point Probe Operation | 2011四探针操作手册.四探针操作说明书Four-Point Probe Operation第1章引言11.目的12.应用范围13.测试设备1四探针1数字电压源表2第2章原理简述31.薄膜(厚度4mm)电阻率：32.薄膜方块电阻3第3章操作方法51.引言52.测试线连接方式53.KEITHLEY 2400高压源表设置指南64.探针接触方式85.数据测试指南8第4章注意事项10附表I第1章 引言1. 目的本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。2. 应用范围测量参数：方块电阻，电阻率测量样品：均匀薄膜，均匀薄片方块电阻测试范围：0.01500M电阻率测试范围：10-5cm103cm样品大小：直径1cm精度：5%3