.光谱仪重要参数定义 CCD 电荷耦合器件(Charger Coupled Device,缩写为CCD ) ,硅基光敏元件的响应范围在短波近红外区域 。 PDA 二极管阵列(Photodiode Array,缩写为PDA).光电二极管阵列是由多个二极管单元(象素)组成的阵列,单元数可以是102,256或1024。当信号光照射到光电二极管上时,光信号就会转换成电信号。大部分光电二极管阵列都包括读出/积分放大器一体式的集成化信号处理电路。光电二极管的优点是在近红外灵敏度高,响应速度快;缺点是象元数较少、在紫外波段没有响应。 薄型背照式薄型背照式电荷耦合器件(BTCCD,Back Thinned Charge Coupled Device),采用了特殊的制造工艺和特殊的锁相技术。首先,与一般CCD相比,硅层厚度从数百微米减薄到20m以下;其次,它采用背照射结构,因此紫外光不必再穿越钝化层。因此,不仅具有固体摄像器件的一般优点,而且具有噪声低,灵敏度高、动态范围大的优点。BTCCD有很高的紫外光灵敏度,它在紫外波段的量