泄漏检测工艺题.doc

.泄漏检测工艺题（仅供参考）一、检测系统最小可检漏率的测定工艺题（参考）采用氦质谱检漏方法对某个真空容器（容积大于100L）进行泄漏检测，请在检测前测定检测系统最小可检漏率，并画出测定系统示意图。具备的条件：1）氦质谱检漏仪一台；2）容器上面有与标准漏孔相连的接头，具有与高真空机组相连的法兰或接头和管道； 3）渗透型标准漏孔（漏率10-810-10Pam3/s，漏率Q0已知）一支； 4）高真空机组（次级泵和辅助泵，抽速100L/s）一台，具有与检漏仪及被检真空容器相连接的接头、法兰和管道，具有前级阀。答：1.检测系统最小可检漏率测定示意图真空计辅助泵真空容器（100升）次级泵辅助阀标准漏孔 检测系统最小可检漏率的测定示意图Q0检漏仪2. 测定步骤及要点1）将检漏仪、被检容器及标准漏孔按上图连接好（设该系统为检测系统）。2）起动检漏仪，调整检漏仪各参数使其处于检漏状态。3）启动高真