半导体制造专业英语术语.doc

.A1st level packaging 第一级封装2nd level packaging 第二级封装aberration 象差/色差absorption 吸收acceleration column 加速管acceptor 受主Accumulate v. 积聚, 堆积acid 酸acoustic streaming 声学流active region 有源区activate 激活activated dopant 激活杂质active component 有源器件adsorption 吸附aerosol 悬浮颗粒air ionizer 空气电离化器alignment mark 对准标记alignment 对准alloy 合金alternate adj. 交替的, 轮流的, 预备的 v. 交替, 轮流, 改变aluminum 铝aluminum subtractive process 铝刻蚀工艺