电子化学品性能要求及生产技术.doc

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资源描述

.电子化学品性能要求及生产技术电子化学品的质量规格及标准电子化学品的质量标准的演变为了能够规范世界超净高纯试剂的标准,SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International,国际半导体设备和材料协会)于1975年成立了SEMI化学试剂标准化委员会,专门制定、规范超净高纯试剂的国际统一标准SEMI标准。1978年,德国的伊默克公司也制定了MOS标准。两种标准对超净高纯化学品中金属杂质和(尘埃)微粒的要求各有侧重,分别适用于不同级别IC的制作要求。国际上公认的电子化学品的标准大致可分为四类:一类是以SEMI为基础的美国试剂标准;一类是以德国E.Merck标准为主的欧洲试剂标准;一类是以日本关东化学(Kanto)公司、和光纯药工业(Wako)公司的湿电子化学品为代表的日本试剂标准;另一类则是以REA公司为代表的俄罗斯试剂标准。ULSI在全球的快速发展使得这些标准的指标有逐步接近的趋势,但SEMI标准更早取得世界范围内的普遍认可。目前世界及我国的电子化学品产品通常执行SEMI国际标准,其关键技术指标包括单项

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