硅片生产工艺技术流程.doc

.顺大半导体发展有限公司太阳能用硅单晶片生产技术 目 录一、硅片生产工艺中使用的主要原辅材料1、拉制单晶用的原辅材料，设备和部件：2、供硅片生产用的原辅材料，设备和部件：二、硅片生产工艺技术1、硅单晶生产部（1）、腐蚀清洗工序生产工艺技术对处理后原材料质量要求（2）、腐蚀清洗生产工艺流程 多晶硅块料，复拉料和头，尾料处理工艺流程 边皮料酸碱清洗处理工艺流程 埚底料酸清洗处理工艺流程 废片的清洗处理工艺流程（3）、硅单晶生长工艺技术（4）、单晶生长中的必备条件和要求 单晶炉 配料与掺杂（5），单晶生长工艺参数选择 （6）、质量目标：（7）、硅单晶生长工艺流程2、硅片生产部（1）、硅片加工生产工艺技术（2）、硅片加工工艺中的必备条件和要求 切割机 切割浆液（3）、质量目标（4）、硅片加工工艺技术流程 开方锭生产工艺流程 切片生产工艺流程（5）、硅片尺寸和性能参数检测