离子镀铝技术介绍.doc

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资源描述

.离子镀铝技术离子镀铝是通过物理气相沉积方法的方法在产品表面镀覆一层厚度均匀、结合力好的纯铝涂层。 离子镀铝是一门新技术,它具有工艺温度低、镀层组织致密 附着性、绕镀性良好、无公害等优点。目前主要有磁控溅射、多弧和电阻加热蒸发这三类设备。美国等国开展了离子镀铝研究工作较早, 已取得较好成果,并应用于生产上。我国在80年代前后开展了离子镀的研究工作,并相继开始了离子镀铝的研究,但由于缺少环保意识,未获得大规模推广。1、离子镀铝工艺流程(1)入炉前的工件清洗:金属清洗剂浸泡金属清洗剂超声波清洗去离子水冲洗脱水烘干。通过清洗, 使工件表面达到去油、去污、脱水的状态;(2)装炉后的离子溅射清洗: 工件装卡入炉, 抽真空、待真空度抽到8x 10-3Pa时,加热烘烤工件, 同时通入氩气到2.66.67Pa之后,施加8001000V的负偏压,对工件进行离子清洗,离子轰击1520min,以保证铝涂层与工件有良好的结合力;(3)离子沉积镀铝:起铝靶、调正氩分压、调整所需的靶功率。等铝靶工作正常后,打开挡板,镀制铝涂层;(4)镀覆后处理:镀制结束,工件随炉冷却

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