半导体专业术语.docx

.1. acceptor:受主，如 B，掺入 Si 中需要接受电子2. Acid ：酸3. Active device：有源器件，如MOS FET（非线性，可以对信号放大）4. Align mark(key)：对位标记5. Alloy ：合金6. Aluminum：铝7. Ammonia：氨水8. Ammonium fluoride： NH4F9. Ammonium hydroxide ： NH4OH20. Asher ：去胶机21. Aspect ration：形貌比（ ETCH中的深度、宽度比）22. Autodoping ：自搀杂（外延时 SUB的浓度高， 导致有杂质蒸发到环境中后，又回掺到外延层）23. Back end ：后段（ CONTAC以T 后、 PCM测试前）24. Baseline ：标准流程25. Benchmark：基准26. Bipolar ：双极27. Boat ：扩散用（石英）舟28. CD： （Crit