特种气体系统工程设计要求要求规范实用文档标准特种气体系统工程技术规2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类| 标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规。1.0.2 本规适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。1.0.3 本规不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。2 术语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与
