2021加速度传感器测试技术规范V1.0.docx

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加速度传感器测试技术规范V1.0加速度传感器测试技术规范Ver1.0前言加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就好比地球引力,也就是重力。加速力可以是个常量,比如g。也可以是变量。加速度计有两种:一种是角加速度计,是由陀螺仪(角速度传感器)改进的。另一种就是线加速度计。从测量维数来分,绝大多数为一维型,个别属二维型,极少数属三维型。从测试原理上可分为压电式、电容式、电感式、应变式、压阻式、热对流式和表面声波式等等。其中,压阻式加速度传感器的原理为压阻效应,即半导体材料受到应力作用时,其电阻率会发生变化,因此传感器可通过此原理来感测位移的变化。其结构简单,外形小巧,性能优越,尤其可测量低频加速度。其产生误差的主要原因是温度。由于传感器中扩散电阻的温度系数较大,电阻值随温度变化而变化,引起传感器的零位漂移和灵敏度漂移。零位温度的漂移一般可用串联电阻的方法进行补偿;灵敏度则随温度变化:当温度升高时,压阻系数减小,感测器的灵敏度也随之减小;反之则灵敏度随温度减小而增大。热对流式加速度传感器的工作原理是由

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