超精密微机械制造技术研究及进展 随着航空航天，国防工业，电子产业，现代医学和生物工程技术的快速发展，对于三维微小零件的精度（其尺寸在微米到毫米级）迫切需求。本文对内涵的整理和叙述，对超精密微机械制造技术国内外的研究现状和发展趋势，并对未来的超精密微机械制造技术的发展趋势进行了总结，为先进制造技术领域的研究和规划我们的未来发展方向。 超精密微机械制造技术领域是在第二十世纪80年代初期90年代逐渐发展的新兴科学领域。它的迅猛发展将在二十一世纪为几乎为所有的工业领域带来翻天覆地变化。微系统与微制造的产品广泛应用于军事，医疗，航空航天，电子等军用和民用领域。本文对其内涵的整理和叙述，超精密微机械制造技术的国内外研究现状和发展趋势，为今后我国先进制造技术研究计划提供可参考的意见。 什么是超精密微机械制造技术 微制造系统是针对微小机械零件这个特殊加工对象，采用系统的，集成的理论和技术，根据工件结构和具体要求把供料、加工、检测、搬运等步骤有效的融合起来，在狭小的空间内对微型零件进行制造。它的目地是实现小零件用小机床加工的概念，不同于MEM
