电子制造过程中的静电及静电防护 ESD(ElectrostaticDischarge)即静电释放:两个带不同静电电平的物体,通过直接接触或静电电场的作用会使两物体的静电电荷发生位移,当静电电场达到一定能量,之间的介质被击穿而产生放电,这就是ESD的全过程。例如,在干燥的秋冬季节,推开门,开关抽屉,整理书籍,甚至按下计算机开关都有静电累积和释放的现象,可以说,我们就生活在一个静电的世界。由于生活中静电无处不在,所以,ESD也经常发生,大到电闪雷鸣,小到脱毛衣时迸出火花,都属于此列。我们可以按以下描述简单判断ESD的强弱,当放电电压低于3KV时,ESD过程就会发生,但我们不会感觉到,电压大于3KV时,人体有轻微麻麻的感觉,当电压大于6KV时,我们会听到“劈啪”的放电声,而当电压大于8KV时,同时还会伴随快速的电弧火花出现了。 随着科学技术的飞速发展,电子、通信、航天、航空等高新技术产业的迅速崛起,尤其是电子仪器仪表和设备等电子产品日趋小型化、多功能及智能化。高密度集成电路已成为电子工业对上述要求中不可缺少的器件。这种器件具有线间距短、线细、集成度高、运算