单晶炉安全操作规范.docx

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单晶炉安全操作规范 1、 开机安全检查 单晶炉开机、装料前,应对电气、机械、液压等部分进行检查,使单晶炉电极处于无电压输出,各机械传动安全可靠;1) 检查主加热器处于关闭状态(是否切断主回路的空开?);2) 欧陆表输出设定为0;3) 上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象;4) 检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常; 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下,可以装炉,同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌; 3、抽真空安全事项 1)开真空泵前,应检查真空泵房,确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态;2)按真空泵操作规程正确操作;3)抽真空过程中,应检查各环节的密封圈处于正常,应无脱落、装反等现象;4)在单晶炉真空状态过程中,严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处,以免造成人身或设备损害,如发现漏气,应按停炉恢复常压规程操作; 4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1)按工艺操作规程进行正确操作;2)必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定

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