二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施 1.别名英文名 二氯硅烷；DichIorosilane2.用途：电子气、外延、化学气相淀积。3.制法：(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。 (2)在高温下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。二、理化性质分子量： 101.010 熔点： -122.0 、沸点(101.325kPa)： 8.2、液体密度(0，101.325kPa)：1220kg/m 、气体密度(25，101.325kPa)：4.168kg/m 、相对密度(气体，空气=1，25，101.325kPa)：3.52 、比容(21.1，101.325kPa)： 0.2391m/kg 、气液容积比(15，100kPa) 290L/L 、临界温度： 176.0 、临界压力：4676kPa 、临界密度：463kg/m3、气化热(8.4，101.325kPa)：249.kJ/kg 、比热容(25，气体)：Cp=611.27J/(kgK) 、蒸气压 (-20)：31.4kPa 、(0
