真空退火炉工安全技术操作规程.docx

真空退火炉工安全技术操作规程 1.先送水源,检查水源是否畅通,水压0.lMPa,否则不准开炉。 2.合上总电源,再合上操作电源。1.开机械泵,分别打开1号、2号闸门。2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度。电流为22mA时真空度为10-1Torr(13.3Pa);电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa);电流为98mA时真空度为10-3Torr(0.133Pa)；电流为10OmA时真空度为10-4Torr(0.0133Pa)。5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33Pa以上。6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。7.真空度高于0.133Pa后关闭热电偶电源,打开电离计电源,用电离计测量真空度。8.把电子电位差计的定