CMOS集成电路闩锁效应形成机理和对抗措施(共13页).doc

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CMOS集成电路闩锁效应形成机理和对抗措施作者：日期：目录摘要：10 前言11 闩锁效应产生背景22 CMOS反相器32.1 反相器电路原理32.2反相器工艺结构33 闩锁效应基本原理43.1 闩锁效应简介43.2 闩锁效应机理研究43.3 闩锁效应触发方式64 闩锁措施研究64.1 版图级抗栓所措施64.2 工艺级抗闩锁措施74.3 电路应用级抗闩锁措施95 结论9参考文献:10CMOS集成电路闩锁效应形成机理和对抗措施摘要： CMOS Scaling理论下器件特征尺寸越来越小，这使得CMOS电路结构中的闩锁效应日益突出。闩锁

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