工业技术INDUSTRY TECHNOLOGYMEMS 压力传感器在汽车上的应用河南司法警官职业学院 滕敏汽车性能的不断提升得益于汽车电子的不断发展,而起核心作用的元件是传感器。MEMS 压力传感器广泛应用于汽车电子中,如 TPMS 压力传感器、进气歧管压力传感器、大气压力传感器、发动机机油压力传感器、安全气囊用压力传感器等。MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。本文中,笔者从安全和节能的角度考虑,介绍几种 MEMS 压力传感器在汽车上的应用。一、发动机机油压力传感器机油压力传感器是用于测量汽车发动机机油压力的重要传感器,其可靠性直接关系到汽车和人的安全。机油关系到发动机的润滑、降低磨损、降温和密封等方面,一旦机油压力过低就会因缺油发生干摩擦,造成剧烈的磨损和发热,可能损坏发动机,影响机车的正常运转。一般国产汽车的生产厂家基本上是在发动机上安装一个电位器式压力传感器,由一个波纹膜片和一个具有机械触点的滑线