毕业设计（论文）（ 2012 届）题 目等离子增强化学气相沉积(PECVD)的工艺流程学 号 0903010033 姓 名 董庆 所 属 系 新能源科学与工程学院 专 业 材料工程技术 班 级 09材料工程技术班 指导教师 阮仔龙 新余学院教务处目 录摘要2Abstract2第1章 PECVD的概述31.1 PECVD的发展31.2 PECVD的工作原理41.3 PECVD设备的主要作用41.4 PECVD的优点71.5 PECVD的特点7第2章 PECVD的结构组成，主要的性能指标参数82.1 P
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