S-3000N扫描电子显微与EX-250X射线能谱仪作业指导书6页.doc

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资源描述

本细则根据分析型扫描电子显微镜方法通则(JY/T 010-1996)、日本HITACHI公司S-3000N扫描电子显微操作说明书和日本Horiba公司EX-250X射线能谱仪操作说明书制定。1适用范围本指导书适用于扫描电镜X射线能谱仪对块状试样的表面超微精结构观测并成像及定性和定量分析。2引用标准分析型扫描电子显微镜方法通则(JY/T 010-1996)3术语、符号、代号详见分析型扫描电子显微镜方法通则(JY/T 010-1996)4方法、原理详见分析型扫描电子显微镜方法通则(JY/T 010-1996)5试剂和材料试剂:分析纯乙醇。6仪器设备6.1仪器名称:S-3000N扫描电子显微镜电子枪:钨灯丝分辨率:高真空 3.0nm(25kV)低真空4.0nm(25kV)放大倍数:5300000倍物镜:4孔可调物镜光栏聚焦:自动聚焦自动像散校正功能,加速电压:0.330kV加速电业调节:0.39.99kV10V/步1030kV 100V/步6.2仪器名称

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