SEM和TEM各自的优缺点和使用条件姓名: 谭 伟 学号:2012221113100150SEM:即扫描电子显微镜,是1965年发明的较现代的研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。SEM的优点:(一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm80mm50mm。 (二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。 (三) 样品可以在样品室中作的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。 (四) 大,图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍。 (五) 图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3nm。 (六) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。 (七) 在观察形