四氟化碳理化特性分析1页.doc

四氟化碳理化特性分析（32）标识中文名：四氟甲烷；四氟化碳英文名：Tetrafluoromethane；Carbon tetrafluoride分子式：CF4 分子量：88.01CAS号：75-73-0 RTECS号：FG4920000 UN编号：1982 危险货物编号：22033 IMDG规则页码：2182理化性质外观与性状：无色无臭气体。主要用途：用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻。 熔点：-183.6 沸点：-128.0相对密度(水=1)：1.61/-130 相对密度(空气=1): 无资料饱和蒸汽压(kPa)：13.33/-150.7 溶解性：不溶于水。临界温度()：-45.5 临界压力(MPa)：3.74 燃烧热(kj/mol)：无意义燃烧爆炸危险性燃烧性：不燃 建规火险分级：戊闪点()：无意义