采用波长小于或接近于其点阵常数的电子束照射晶体样品，由于入射电子与晶体内周期地规则排列的原子的交互作用，晶体将作为二维或三维光栅产生衍射效应，根据由此获得的衍射花样研究晶体结构的技术，称为电子衍射。1电子衍射和一样，也遵循布喇格公式2dsin（见X射线衍射）。当入射电子束与晶面簇的夹角、晶面间距和电子束波长三者之间满足布喇格公式时，则沿此晶面簇对入射束的反射方向有衍射束产生。电子衍射虽 电子衍射与X射线衍射有相同的几何原理。但它们的物理内容不同。在与晶体相互作用时，X射线受到晶体中的散射，而电子受到原子核及其外层电子所形成势场的散射。除以上用布喇格公式或用倒易点阵和来描述产生电子衍射的衍射几何原理外,严格的电子衍射理论从薛定谔方程HE出发,式中为电子波函数，E表示电子的总能量，H为，它包括电子从外电场得到的动能和在静中的势能。2电子衍射和X射线衍射一样，可以用来作物相鉴定、测定晶体取向和原子位置。由于电子衍射强度远强于X射线，电子又极易为物体所吸收，因而电子衍射适合于研究薄膜、大块物体的表面以及小颗粒的。此外，在研究由原子序数相差悬殊的原子构成的时
