JMP软件中的晶圆图(-Wafer-Map)分析(共3页).doc

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JMP软件中的晶圆图( Wafer Map)分析关键词:芯片 良率分析 晶圆图 质量管理 JMP Minitab半导体芯片的生产,简单来讲,是将电路通过各种复杂的物理化学方法制作到晶圆上,在生产的最后阶段会进行不同电性功能的测试以确保产品的功能性,而利用这些测试结果再结合晶圆的形状所产生的图形就是晶圆图(Wafer Map)。晶圆图是以芯片(Die)为单位的,将测试完成的结果用不同颜色、形状或代码标示在各个芯片的位置上。半导体业内人士都知道:晶圆图是提供追溯产品发生异常原因的重要线索,通过晶圆图的空间分布情况及其模型分析,可以找出可能发生低良率的原因(例如有问题的机台或异常的制程步骤等)。所以,哪怕当前的良率较高,每个工厂也会记录每片晶圆经过测试后产生的晶圆图,以作为工作报告的必备内容或者事故诊断的重要依据。虽然现在的不少半导体加工设备本身就提供了一些制作晶圆图的功能,但基本上都是些简单且固定的模式,工程师们稍微有些新想法、新要求就无法实现了。我们老板想省钱,前两年想请IT部门配合用Excel中的VBA开发一个具有定制化功能的晶圆图分析软件,但实施起来遇到很多困

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