AlTiN涂层工艺要点1.AlTiN晶体薄膜中，Al原子置换TiN中的一部分Ti原子后使晶格发生畸变。晶格畸变度大的涂层，一方面晶界增多，另一方面位错多且不易滑动，从而导致涂层硬度的提高。2.Al元素能大大降低TiN涂层在告诉切削时的氧化磨损，当刀具和工件接触区温度超过约749时，涂层的外表面转化为氧化铝，可以阻止进一步氧化，并能在刀具和工件接触区产生高温时起到保护刀具的作用，从而延长刀具的使用寿命。3.AlTiN涂层中Al含量的变化，硬度值也随之变化。纯TiN的硬度为2000HV，随着Al含量的增加，Al:Ti=6:4时，AlTiN的硬度值增加到最高值3200HV。4.晶格结构的变化会影响涂层的微观结构，SEM显示，当AL含量小于60%时，有柱状结构存在，而当Al含量超过60%时，柱状结构消失，且晶粒尺寸变小。5.对于阴极电弧蒸发沉积AlTiN涂层而言，偏压值会在很大的程度上影响涂层中Al的含量。研究发现，当偏压大于100V时，反应离子产率较低，基体表面发生明显的自溅射作用，沉积速率会降低，膜层表面遭到刻蚀，变得粗糙无光泽。通过降低偏压，可以改善涂层的耐磨性能，
