第九章 扫描电子显微分析与电子探针一、教材习题10-2为什么扫描电镜的分辨率和信号的种类有关？试将各种信号的分辨率高低作一比较。答：扫描电镜可以利用多种信号成像，图像分辨率和信号的种类有关，这是因为不同信号的性质和来源不同，作用的深度和范围不同（如下图所示）。因此，主要信号图像分辨率的高低顺序为：俄歇电子像（与电子束直径相当）二次电子像背散射电子像吸收电流像特征X射线像。通常所说的扫描电镜的分辨率是指二次电子像的分辨率。入射电子产生的各种信息的深度和广度范围(a) 电子束散射区域形状（梨形作用体积）：1-入射电子；2-俄歇电子激发体积，信息深度（0.5-2nm）；3-样品表面；4-二次电子激发体积，信息深度（5-10nm）；5-背散射电子激发体积；6-吸收电子作用体积、初级X射线激发体积(b) 重元素样品的电子束散射区域形状（半球形作用体积）10-3二次电子像的衬度和背散射电子像的衬度各有何特点？答：二次电子像的衬度特点：景深大、立体感强、分辨率高；衬度来源于形貌、成分、电压（样品局部电位）、样品中的磁畴（第一类磁衬度），主要反
