亚微米超精密车床振动控制系统(共7页).doc

现代控制理论基础上机实验报告之一亚微米超精密车床振动控制系统的状态空间法设计院 系 自动控制原理课程设计 专 业 航天学院自动化专业 姓 名 班 级 学 号 指导教师 强盛 哈尔滨工业大学2015年6月14日一：工程背景介绍及物理描述超精密机床是实现超精密加工的关键设备，而环境振动又是影响超精密加工精度的重要因素。为了充分隔离基础振动对超精密机床的影响，目前国内外均采用空气弹簧作为隔振元件，并取得了一定的效果，但是这属于被动隔振，这类隔振系统的固有频率一般在2Hz左右。这种被动隔振方法难以满足超精密加工对隔振系统的要求。为了解决这个问题，有必要研究被动隔振和主动隔振控制相结合的混合控制技术。其中，主动隔振控制系统采用状态空间法设计。图1图1表示了亚微米超精密车床隔振控制系统的结构原理，其中被动隔振元件为空气弹簧，主动隔振元件为采用状态