晶圆处理工程用语D1基本、共同用语编号用语（英文/中文）用 语 说 明D1001unloader卸载机、卸货机是将被加工对象（work）从所定位置取出之机构D1002 Indexer指针器，索引器是指发送机（sender）与接收机（receiver）之总称。在处理之前后，亦有使用同一匣盒使遮光罩(mask),晶圆等基板收纳位置不会变化之单面匣式（uni-cassette）方式。D1003Wafer automatic transfer system晶圆自动传送系统是指将晶圆每次一片或每次多片，从匣盒自动转移至各处理装置之装置。此一装置是由匣盒载物台(cassette stage)、晶圆搬运机器人，以及该接口所构成，大都与匣盒搬运机械人搭配使用。D1004Wafer hoist晶圆交接升降装置系指有关晶圆输送机构之晶圆交接升降机构。大都与附属在输送机构先端之晶圆承接臂成对搭配使用，位在交接之制程位置，由晶圆承接部分与驱动该部分之上下机构所组成。D1005Wafer holde
