1 真空环境的划分：低真空（ 102Pa）；中真空（102 10-1Pa）；高真空（10-110-5Pa）；超高真空（ 10-5Pa）真空蒸发沉积：高真空和超高真空（10-1Pa 涡轮分子泵（输运式真空泵）：高速旋转的叶片将动量传给气体分子，并使其向特定方向运动。10-81Pa 溅射离子泵（捕获式真空泵）：高压下电离的气体分子撞击Ti阴极，溅射出大量活性很高的Ti原子，以吸附或化学反应的形式捕获大量气体分子。10-810-5Pa真空规测量气压的范围： 热偶真空规和皮拉尼真
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