匀胶铬版工程项目规划咨询方法概述（完整版）.docx

泓域咨询/匀胶铬版工程项目规划咨询方法概述匀胶铬版工程项目规划咨询方法概述xxx集团有限公司一、 项目背景分析匀胶铬版是一种硬面光掩模材料，即光掩膜基版，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料（相当于照相用的感光胶卷）。它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射（SP）沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂（又称光刻胶）或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。匀胶铬版具有高的感光灵敏度、高分辨率、低缺陷密度、耐磨性好、易清洁处理、使用寿命长等特点，当前被广泛应用于IC、LCD、PCB、PDP、DOT等产品掩膜版的制作。二、 项目名称及建设性质（一）项目名称匀胶铬版工程项目（二）项目建设性质本项目属于扩建项目三、 项目承办单位（一）项目承办单位名称xxx集团有限公司（二）项目联系人邵xx（三）项目建设单位概况公司全面推行“政府、市场、投资、消费、经营、企业”六位一体合作共赢的市场战略，以高度的社会责任积