1、电子探针仪与扫描电镜有何异同?电子探针仪如何与扫描电镜和透射电镜配合进行组织结构与微区化学成分的同位分析?答：相同点： 镜筒及样品室无本质差别。 原理相同。利用电子束轰击固体样本产生的信号进行分析。 不同点： 检测信号类型不同。电子探针检测的是特征X射线，扫描电镜检测的是二次电子和背散电子。 用途不同。电子探针得到的是元素种类和含量，用于成分分析；扫描电镜主要用于形貌分析。透射电镜成像操作用来组织观察，通过选取衍射操作用来分析选定区域的晶体结构，结合电子探针可分析选定区域的微区化化学成分，这样组织结构与微区化化学成分做到同位分析。扫描电镜用于形貌观察，结合电子探针可分析选定区域的微区化化学成分，这样形貌与微区化化学成分做到同位分析。2、波谱仪和能谱仪各有什么优缺点?答：操作特性 波谱仪（WDS） 能谱仪（EDS） 分析方式 用几块分光晶体顺序进行分析 用Si(Li) EDS进行多元素同时分析分析元素范围 Z4Z11 (铍窗) 分辨率 与分光晶体有关，5-10eV 与能
