1. acceptance testing (WAT: wafer acceptance testing) 2. acceptor: 受主，如B，掺入Si中需要接受电子 3. Acid：酸 4. Active device：有源器件，如MOS FET（非线性，可以对信号放大） 5. Align mark(key)：对位标记 6. Alloy：合金 7. Aluminum：铝 8. Ammonia：氨水 9. Ammonium fluoride：NH4F 10. Ammonium hydroxide：NH4OH 11. Amorphous silicon：-Si，非晶硅（不是多晶硅） 12. Analog：模拟的 13. Angstrom：A（1E-10m）埃 14. Anisotropic：各向异性（如POLY ETCH） 15. AQL(Acceptance Quality Level)：接受质量标准，在一定采样下，可以95%置信度通过质量标准（不同于可靠性，可靠性要求一定时间后的失效率） 16. ARC(Antirefl
