半导体工艺原理复习资料(共14页).doc

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第一章晶体生长技术(直拉法(CZ)、区熔法(FZ)。半导体:常温下导电性能介于导体和绝缘体之间的材料,如二极管、计算机、移动电话等。导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。N型半导体(电子型半导体),自由电子浓度远大于空穴浓度的杂质半导体。硅晶体中掺入五价元素(如磷),自由电子为多子,空穴为少子,主要靠自由电子导电。自由电子主要由杂质原子提供,空穴由热激发形成。掺入的杂质越多,多子的浓度就越高,导电性能就越强。P型半导体(空穴型半导体)即空穴浓度远大于自由电子浓度的杂质半导体。硅晶体中掺入三价元素(如硼)。空穴为多子,自由电子为少子,主要靠空穴导电。空穴主要由杂质原子提供,自由电子由热激发形成。掺入的杂质越多,多子的浓度就越高,导电性能就越强。区熔法(FZ)特点:硅片含氧量低、纯度高、成本高、主要用于高功率IC。难生长大直径硅晶棒。低阻值硅晶棒、掺杂均匀度较差。CZ法:成本低、可做大尺寸晶锭、材料可重复使用。CZ工艺工程:籽晶熔接,引晶和缩颈,放肩,收尾。影响因素:拉伸速率、旋转速率。硅片制备步骤:机械加工,化学处理,表面抛光,质量测量

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