半导体器件的钝化技术09023320 李子腾09023307 邹骞09023308 刘峥09023319 沈骜目录1绪论12正文主体12.1钝化工艺及其对半导体器件参数的影响12.1.1钝化工艺的产生与发展22.1.2钝化工艺的分类22.1.3钝化工艺对器件的影响22.1.3.1低温淀积二氧化硅工艺22.1.3.2磷硅玻璃及其生长工艺22.1.3.3化学汽相淀积氮化硅生长工艺22.2制备钝化层
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