半导体常用缩写词汇汇总EPI 外延 PM 设备维护与保养PCW 工艺冷却水 PMC 生产计划与物料控制PLC 可编程序控制控制器H2 氢气 Sb 锑N2 氮气 As 砷SiHCl3 (TCS)三氯氢硅 B 硼PH3 磷烷 CMOS 互补金属氧化物半导体HCl 氯化氢 CMP 化学机械抛光Hg 汞(水银) ESD静电释放HNO3 硝酸 H2O2双氧水HF 氢氟酸 MOS 金属氧化物半导体SPC 统计过程控制 PCM 工艺控制监测MRB 异常评审委员会 PCN 工艺变更通知单CAB 变更评审委员会 ECN 工程变更通知单OCAP 失效控制计划。指制程过程中失控时所应采取的对应措
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