去离子水质量标准2页.doc

去离子水水质标准指标/级别EW-IEW-IIEW-IIIEW-IV电阻率M cm(25)18以上(95%时间)不低于1715(95%时间)不低于13120.5全硅，最大值， g/L2105010001 m微粒数， 最大值， 个/mL0.1510500细菌个数，最大值，个/mL0.010.110100铜，最大值， g/L0.212500锌，最大值， g/L0.215500镍，最大值， g/L0.112500钠，最大值， g/L0.5251000钾，最大值， g/L0.525500氯，最大值， g/L11101000硝酸根，最大值， g/L115500磷酸根，最大值， g/L115500硫酸根，最大值， g/L115500总有机碳，最大值， g/L201002001