原理OM光学显微镜optical microscope显微镜是利用凸透镜的放大成像原理，将人眼不能分辨的微小物体放大到人眼能分辨的尺寸，其主要是增大近处微小物体对眼睛的张角（视角大的物体在视网膜上成像大），用角放大率M表示它们的放大本领。大于0.2nm看不清亚结构EDS能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer)（分为点、线、面扫map）各种元素具有自己的特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。探头：一般为Si(Li)锂硅半导体探头探测面积：几平方毫米分辨率（MnKa）：133eV扫描电子显微镜（scanning electron microscope）利用二次电子信号成像来观察样品的形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射介于和之间的一种微观性貌观察手段当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表
