实验六 电子探针结构原理及分析方法一、实验内容及实验目的1结合电子探针仪实物,介绍其结构特点和工作原理,加深对电子探针的了解。2选用合适的样品,通过实际操作演示,以了解电子探针分析方法及其应用。二、电子探针的结构特点及原理电子探针X射线显微分析仪(简称电子探针)利用约1m的细聚焦电子束,在样品表层微区内激发元素的特征X射线,根据特征X射线的波长和强度,进行微区化学成分定性或定量分析。电子探针的光学系统、真空系统等部分与扫描电镜基本相同,通常也配有二次电子和背散射电子信号检测器,同时兼有组织形貌和微区成分分析两方面的功能。电子探针的构成 除了与扫描电镜结构相似的主机系统以外,还主要包括分光系统、检测系统等部分。本实验这部分内容将参照教材,并结合实验室现有的电子探针,简要介绍与X射线信号检测有关部分的结构和原理。三、电子探针的分析方法电子探针有三种基本工作方式:点分析用于选定点的全谱定性分析或定量分析、以及对其中所含元素进行定量分析;线分析用于显示元素沿选定直线方向上的浓度变化;面分析用于观察元素在选定微区内的浓度分布。1实验条件(1) 样品