微加工原理(共86页).doc

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目录第一章导论一微加工技术的发展史二微加工的方式和特点三本课程的内容第二章微加工过程的物理和化学基础一气体和真空的物理特性二气体放电三等离子体四直流辉光放电五射频辉光放电第三章微加工技术一薄膜技术二光刻技术三刻蚀技术四测试和其他技术微加工原理Principles of Microfabrication参考书目： 1.毫微加工物理、技术、应用 1991.10 2.超大规模集成电路工艺学 S.M.Sze 1987.10 上海交通大学出版社 3.Glow Discharge Processessputtering and plasma etching Brain

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