微机电（MEMS）系统技术及其应用摘要：微机电系统尺寸在几厘米以下乃至更小，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、化学、光学、医学、电子工程、材料工程、机械工程、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，目前在系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。本文主要就微机电系统技术的特点、研究内容、技术类别、研究领域、用途以及今后的发展趋势等问题进行简要的讨论和分析。关键词：微机电系统 微型机器人 微机械加工The technology and application of micro-electromechanicalsystemMEMSAbstract：EMS which is in a few cm below even smaller, is an independent intelligent system, mainly comprising a sensor, actuator and micro energy of three parts. MEMS r
