实验报告学院: 专业: 班级:姓名学号实验组实验时间10/5/12指导教师成绩实验项目名称扫描电镜实验目的1) 结合扫描电镜实物,介绍其基本结构和工作原理,加深对扫描电镜结构及原理的了解。2) 选用合适的样品,通过对样品形貌衬度和原子序数衬度的观察,了解扫描电镜图像衬度原理及其应用。实验要求1) 简述扫描电镜的基本结构及特点。2) 举例说明扫描电镜表明形貌衬度和原子序数衬度的应用。实验原理在扫描电镜中,成象的信息主要是电子信息,根据近代的电子工业技术水平,即使高速变化的电子信息,也能毫不困难的及时接收、处理和储存,故可进行一些动态过程的观察,如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件,则可以通过电视装置,观察相变、断烈等动态的变化过程。用扫描电镜观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。扫描电镜主要有真空系统,电子束系统以及成像系统。系统主要包括和真空柱两部分。电子束系统由和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束
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