扫描电镜工作原理7页.doc

课程名称：扫描电子显微镜 学号：2009110039 姓名：代会茹中国地质大学（北京）课程结业报告扫描电子显微镜学院：珠宝学院专业：宝石学学号：2009110039姓名：代会茹日期：2011年11月3日联系电话：18810551553扫描电子显微镜读书报告一、扫描电镜的工作原理扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞，一些电子被反射出样品表面，而其余的电子则渗入样品中，逐渐失去其动能，最后停止运动，并被样品吸收。在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。如图1所示，这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电镜设备就是通过这些信号得到讯息，从而对样品进行分析的。 图1 入射电子束轰击样品产生的信息示意图