显示器件制作实验报告2011年12月8日一、 实验目的通过制作表面传导电子发射源的实验过程,了解平板显示器件核心部件的工作原理及制作方法,熟悉磁控溅射镀膜、光刻、丝网印刷、真空系统中电子发射测试等在显示器件中的应用。二、 实验任务1、了解表面传导电子发射源的原理并制作;2、学习平板显示器件的完整制作过程;3、电子发射源的性能测试。三、 实验内容1. 实验准备:学习和完成平板玻璃的清洗和退火处理。2. 器件电极制作:学习磁控溅射、光刻原理和应用,完成器件电极的制作。3. 导电薄膜制作:学习导电薄膜材料选择和导电薄膜的制备方法,完成导电薄膜的制作。4. 阳极荧光板制作:了解丝网印刷原理,学习阳极荧光板的制作。5. 电子发射源性能测试:正确使用真空测试系统,完成电子发射源的电形成工艺、激活工艺及测试过程,对测试所得的数据进行分析讨论。6. 器件封接:学习(观摩)阴极板和阳极板的封接,了解封接原理和过程。四、 实验过程首先各自选择较干净的玻璃,在各自的玻璃不好的一面右下角上刻