氟化氢铵溶液（二氧化硅腐蚀液）配方：氢氟酸（48%） 30毫升，氟化铵 60克，去离子水 100毫升。pH值 45。使用条件：30。适用于二氧化硅衬底。氢氧化钠溶液（铝腐蚀液）配方：氢氧化钠 5克，甘油 0. 5毫升，无水乙醇 6毫升，去离子水 8毫升。使用条件：3050。适用于铝衬底。配制初呈乳白色，存放一周后变黄，加温至3050。即透明可用。王水配方：发烟硝酸：盐酸=3 ：1。使用条件：常温。适用于金衬底。腐蚀时须在通风橱中进行。碘化钾溶液配方：碘 2克，碘化钾溶液 10毫升。碘的比例成分可酌情增减，溶液呈酱油色。使用条件：常温。适用于金衬底。腐蚀须在通风橱中进行。镍-铬合金腐蚀液配方：硫酸铈 1.5克，硝酸 1.52毫升，去离子水 10毫升。使用条件：常温。腐蚀液使用一定时间后需经常掉换。二氧化硅腐蚀液经硼扩散和磷扩散后，三氧化硅表面往往会形成一种玻璃状物质（硼硅玻璃或磷硅玻璃），通常呈深咖啡或深红、蓝色等。磷硅下班比较容易去除，可用
