热偶真空计的校准10页.docx

高真空的获得与测量及热偶真空计的校准 一、实验目的1掌握高真空的获得和测量的基本原理及方法；2熟悉静态膨胀法校准热偶真空计系统的结构、原理与操作方法；3了解真空技术的基本知识和基本技能。二、实验原理1、真空的获得真空的获得是由真空泵来完成的。一般真空实 验室经常使用的是机械泵和扩散泵，用于超高真空的是钛升华泵和低温泵。真空泵的基本原理：当泵工作后，形成压差，p1 p2，实现了抽气。真空泵按其工作机理可分为排气型和吸气型两 大类排气型真空泵是利用内部的各种压缩机构，将被抽容器中的气体压缩到排气口，而将气体排出泵体之外，如机械泵、扩散泵和分子泵等吸气型真空泵则是在封闭的真空系统中，利用各种表面（吸气剂）吸气的办法将被抽空间的气体分子长期吸着在吸气剂表面上，使被抽容器保持真空，如吸附泵、离子泵和低温泵等 真空泵的主要性能可有下列指标衡量： （1）极限真空度：无负载（无被抽容器）时泵入口处可达到的最低压强（最高