物理气相沉积真空镀膜设备介绍（上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系，上海 200444）摘要：本文主要介绍了五类物理气相沉积的真空镀膜设备。五种设备分别为：电阻式蒸发装置、电子束蒸发装置、电弧蒸发装置、激光蒸发装置以及空心阴极蒸发装置。介绍了相关设备的原理，优缺点等。其中，着重列出了有关电子束蒸发装置的其中一个应用，是厚度为200m左右的独立式的铁铬-Y2O3非晶态/晶态复合涂层的已经从基板温度500C左右的铁铬和氧化钇材料的电子束物理气相沉积产生。Abstract:It describes the five physical vapor deposition vacuum coating equipment in this article.Five kinds of equipment are: resistive evaporation apparatus, an electron beam evaporation apparatus, arc evaporation apparatus, laser evaporation apparatus an
