特种气体在LED中的应用和发展大连保税区科利德化工科技开发有限公司 计燕秋 1 概述特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。半导体照明是正处于方兴未艾的产业，随着化合物半导体市场的扩展，特种气体的需求呈现更大的增长，外延生长需要大量的超纯源和过程气体。目前台湾和日本的化合物半导体市场占有率较高，近年来，中国、韩国的发展势头强劲，北美、欧洲的占有率也有所增长。应用于半导体技术中的特种气体因为种类繁多、品质要求严格，生产、充装、运送、储存都有技术及安全的要求，再加上经济规模等因素，需要多方面的积累，才能实现规模化生产，因此目前国内呈现市场大、供应能力小的局面。很多气体种类的研发和生产仍处于空白，市场供应主要依赖进口。2 应用于LED产业的特种气体半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体
