13 特种气体系统验收6.1一般规定特种气体系统验收包括设备验收、管路系统验收和气体侦测/监控系统验收等。6.2设备验收 6.2.1机械面板验收1 外观和流程检验对照流程图、配置表、钢瓶接口形式等设计参数进行检验，包括管道横平竖直、焊接质量合格、调节阀规格和流向、气动/手动阀门规格和流向、单向阀规格和流向、微漏阀规格和流向、压力变送器/压力表规格、过滤器规格、过流开关规格和安装方向、安全阀流向和设定压力、VCR是否锁紧、管道支架安装、吹扫入口管径、工艺出口管径、排放口管径、危险标签等。2 仪器测试检查出厂各项仪器测试报告，包括保压、氦检、颗粒度、水分、氧分等测试。参见管路系统验收章节。6.2.2 控制系统验收根据控制逻辑，检查各监测和联动部件的功能，包括压力传感器、电子秤、过流开关(EFS)、高温开关、火焰侦测器(UV/IR)、负压开关、紧急切断(EMO)、输入电源、输入输出信号、接地保护、功能联动测试等。6.3 管路系统验收施工单位应通过其质检人员对施工质量进行检验。建设单位或其授权机构，应通过其质检人员对施工质量进行监
