电子陀螺仪原理与构造16页.doc

MEMS陀螺仪传感器产业探究目录：一、MEMS陀螺仪市场现状2第一节、MEMS主要厂家产品资料汇总2第二节、MEMS在我国的产业现状2二、MEMS陀螺仪介绍3第一节、什么是微机械（MEMS）？3第二节、微机械陀螺仪（MEMS gyroscope）的工作原理3第三节、微机械陀螺仪的结构4三、MEMS技术的加工工艺6第一节、体加工工艺6第二节、硅表面微机械加工技术7第三节、结合技术7第四节、逐次加工8第五节、LIGA工艺8第六节、THEMLA工艺流程9四、基于DSP的MEMS陀螺仪信号处理平台设计9第一节、MEMS陀螺仪信号处理平台的硬件结构9第二节、MEMS陀螺仪信号处理平台系统任务分析10第三节、MEMS信号处理平台软件设计方案11五、基于GPS的汽车导航系统的设计与实现12第一节、主体控制方案12第二节、GPS定位系统设计13第三